二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #293597269 待售

PLASMATHERM/UNAXIS 790是一种自动蚀刻器和asher。它设计用于使用射频（RF）能量对直径不超过150 mm的基板进行蚀刻和灰化。适用于晶圆蚀刻、表面清洁、光刻和微电子器件制造等多种应用。UNAXIS 790具有易于使用的界面和全自动处理系统。其先进的工艺控制算法确保了基板表面的均匀蚀刻和灰化结果。腔室可以用30W RF电源闪烁，也可以设置为较低的功率级别（200W）以延长腔室寿命。压板温度可在100至400°C之间调节，腔内压力可在0.1-1.0mbar之间调节。基板温度也可以监测调节。基板沉积时间、蚀刻速率、基板温度等工艺参数可轻松设置和调整。工艺气体和浓度也可以控制，PLASMATHERM 790可以配置为使用干燥工艺气体或液体等离子体。现有各种气体和液体组合，包括O2和XeF2、H2/SF6、SF6/D2、Ar/CF4/CO2和Ne/CO2。790带有一个内置的过程监控和数据收集系统，记录重要的过程信息，包括温度、压力、持续时间和射频功率。可以实时查看这些数据,从而可以快速轻松地优化过程。其多模式控制使批处理效率倍增，导致吞吐量更高。内置的安全功能确保安全和符合适用的安全法规。PLASMATHERM/UNAXIS 790是用于研究和工业应用的可靠、高效的蚀刻和灰化解决方桉。其精密的流程控制、自动化的维护系统以及先进的流程监控和数据收集功能确保了高质量的结果,而操作员的干预却很少。