二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9116459 待售

PLASMATHERM/UNAXIS 790是专门为生产高分辨率MEMS零件而设计的等离子体蚀刻和灰化设备。该系统具有闭环单元，以确保蚀刻和灰化的最高质量，从而产生形状精确、特征极小的产品。蚀刻器有一个多轴晶圆转换机，能够精确处理和定位被蚀刻/粉刷的晶圆。它还有一个机器人转移工具，用于晶圆的高效无人加载和最终产品的卸载。蚀刻资产采用了标准的IntelliFlow和软件过程控制模型,可以轻松准确地控制蚀刻和灰度时间。磁增强的射频能源提供了几种不同的功率水平，使得它在晶圆上创建不同的蚀刻轮廓非常高效。也可以对设备进行调整,以创建不同的蚀刻和灰化轮廓。UNAXIS 790使用专利技术创建了一个排气系统，以实现强劲的排气流量和优化的工艺吞吐量。将被蚀刻/灰化的晶片放入真空室中，低压高温在75至2.75 torr范围内。磁增强的射频源则负责产生高能等离子体，然后继续蚀刻和灰化晶片。然后收集蚀刻材料并将其移走。该单元提供多种特性，包括干湿工艺、硬掩模兼容、可变压力能力、精密晶圆处理以及多种工艺控制特性。这使得机器成为生产高分辨率MEMS产品的高效可靠的解决方桉。PLASMATHERM 790提供了优异的工艺重复性、均匀性和产品产量。该工具还设计为适合任何大批量生产环境。所有工艺参数，如压力、温度和电压，都由资产自动监控和控制，确保最高工艺质量。这也允许产生高度精确的晶圆蚀刻/灰化。