二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9156667 待售
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ID: 9156667
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
PECVD system, 8"
Non-load lock
Heated lower electrode
Water cooled / heated chamber
Advanced Energy RF5S 500W 13.56 MHz power supply with match work
Windows OS
208 V, 60 A, 50/60 Hz
2001 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS 790是一种先进的、高性能的平行板无啮齿轮蚀刻器/asher设备。它是为复杂表面的可靠、经济的蚀刻而设计的。UNAXIS 790有助于快速蚀刻直径达250毫米的基板,同时提供高精度操作。它具有一个由静态电极、固定动态电极和独立可扫电极组成的两个独立系列蚀刻和灰化电极的工艺室。这为用户提供了蚀刻图桉的灵活性,允许对任何曲面几何进行统一或选择性的蚀刻。PLASMATHERM 790配备了直观的自动化控制系统,包括多种遥控选项。设计方便组装、操作和维护。它具有紧凑的占地面积,使其能够适应大多数实验室设置。圆滑和高度集成的单元提供可靠和精确的蚀刻具有极好的可重复性。790利用四个独立的气体分配系统,使用户能够调整不同气体的流量和溷合,以实现精确的蚀刻控制。该机器能够轻松集成不同的等离子体源,如射频(RF)、紫外线(UV)和直流电(DC)等离子体源,提供广泛的蚀刻能力。优化的负载锁定工具增加了工艺的多功能性,允许快速交换底物和再现结果。PLASMATHERM/UNAXIS 790还具有广泛的蚀刻和沉积配方,使得为特定应用定制蚀刻参数变得容易。该资产采用了多种先进的安全功能,如过温和过压保护,确保模型始终高效、安全地运行。该设备为长期稳定蚀刻而设计,在蚀刻区域内具有极好的均匀性。此外,UNAXIS 790还配备了方便用户的综合数据记录系统,便于监测蚀刻结果。总体而言,PLASMATHERM 790是需要可靠、精确和经济高效的蚀刻和灰化结果的实验室的理想蚀刻单元。该机集先进的设计特点、简便的设置和操作以及优异的可重复性和安全性于一体,是任何实验室的理想选择。
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