二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9157170 待售
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ID: 9157170
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
ICP etcher, 8"
Manual load
Non-load lock
Single chamber
Advanced energy RF5S- 500W RF power supply for lower electrode
AM5 match work and controller
Advanced energy RF10M - 1000W RF power supply for upper electrode
AM10 match work and controller
Leybold 361C turbo pump with 150/360 controller
HP 919 Hot Cathode Ion gauge controller
(6) MFCs, He backside wafer cooling, Clamp style chuck
2000 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS 790是一款高级蚀刻器/asher,专为高精度蚀刻应用而设计。此创新工具利用最新技术,以可靠的质量提供卓越的性能。其强大的等离子体发生器能够提供高达UNAXIS 790 W的等离子体功率,具有可变的光束轨迹,非常适合蚀刻具有多种粘附特性的各种材料和基板。机器配备了PC控制的流程管理软件,可以对流程周期进行编程,设置输出参数,监控设备性能。此外,软件允许操作员通过精确的气体引入来精确控制腔室温度。它具有高度灵活的设计,允许广泛的工艺参数和基板配置。PLASMATHERM 790具有25公升的腔室容量、5公斤的装药容量和塔式工作区,容量可达400 °C。它还配备了先进的非接触式控制系统,监控必要的参数技术和工艺。这种蚀刻器/asher还带有双脉冲和反应性离子蚀刻工艺控制,为化学蚀刻、沉积和蚀刻应用提供了无与伦比的精度。此外,这台高度自动化的机器还具有等离子体活化和自动气体纯度监测等多种自动化系统。790有触摸屏操作面板、数字显微镜、自动缺陷检测单元等多种用户友好的配件可供选择。这些附加组件提供了完整的过程控制和卓越的机器性能。此外,该设备还提供全面的服务和支持包,其中包括全天候远程诊断、维护和联机帮助。这样可以确保设备始终以峰值性能运行。PLASMATHERM/UNAXIS 790是蚀刻和粉刷各种材料的完美工具。其先进的特点、健壮的构造和用户友好的设计使其成为任何蚀刻或灰化工作的理想之选,无论是大规模完成还是小型研究项目。
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