二手 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9375333 待售

PLASMATHERM/UNAXIS 790是UNAXIS/PLASMATHERM开发的一种蚀刻/ashersystem，用于高级包装应用的基板蚀刻和灰化。该设备是一个紧凑的台式平台，利用深反应性离子蚀刻或干蚀刻技术对各种材料进行蚀刻和灰化。它结合了高蚀刻精度、重复性和高吞吐量等优点，适用于要求最苛刻的应用。该系统是一个单室单元，可支撑多种基材，可用于包括Asher和Dry Etch在内的多种蚀刻工艺。它提供了优化的腐蚀性气体输送和坚固的室内射频发生器，可用于高通量、可重复蚀刻/灰化过程。射频发生器产生的等离子体用于产生高离子和高能粒子，以蚀刻和灰分各类底物。该机由高压控制器和用于监控工艺参数的先进软件工具控制。该资产还具有真空控制器和压力监控器，以确保准确和可重复的蚀刻和灰化。最后，该模型还具有一系列安全特性，包括门互锁、气体泄漏探测器和气体报警设备。这些安全功能通过防止危险烟雾和气体的意外释放来确保使用者的安全。总体而言，UNAXIS 790是一个用途广泛、可靠的蚀刻/灰化系统，可用于各种高级包装应用。它为要求最苛刻的生产应用程序提供高吞吐量和可重复性。