二手 PLASMATHERM / UNAXIS Batchtop VII #9123993 待售

ID: 9123993
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
PECVD system, 6" Table top RIE Operating software: Windows Lower electrode RIE, 6" Advanced Energy RFPP-RF5S (500 W-13.56 MHz) RF Power supply with AM5 Matchbox and tunner (3) Mass flow controls 208 V, 60 Hz 1994 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VII是一款先进的蚀刻器和asher,其独特的设计目的是为各种材料提供精确可靠的加工性能。这种蚀刻器和灰化器能够处理所有材料,包括金属、聚合物、陶瓷和石英,以及更复杂的多指令蚀刻。通过各种计算机控制过程,这台机器能够精确地将精确的特征刻蚀到各种基材和零件上。UNAXIS Batchtop VII使用等离子体或反应性离子蚀刻(RIE)在基板上蚀刻有图样的层和特征。为了获得最高精度,该机采用了一种介电等离子体,该等离子体保持低压力、高均匀性、高工艺速率和高选择性。这样可以确保精确蚀刻的层是均匀且高度详细的。这台机器的设计具有最大的灵活性和适应性。它易于配置,可以根据任何用户的需要和首选项进行定制。PLASMATHERM Batchtop VII配备了快速释放组件,便于维护和维修。该机还支持多配方管理,方便蚀刻配方之间的换乘。Batchtop VII包括安全功能,可确保蚀刻器和asher的安全操作。这台机器设计为ESD安全,包括内置电离风扇,以帮助减少污染。该机器还包括一个互锁系统,可确保腔室的正确操作,并提供针对等离子体产生的场的完全保护。此外,机器还配备了预测性维护系统,在出现问题时向用户发出警报。该机器内置传感器,用于监视过程,可用于排除问题。此外,PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VII还配备了实时流程追踪功能,允许用户查看每个作业的蚀刻历史记录。总体而言,UNAXIS Batchtop VII是一款非常先进的蚀刻器和asher,旨在提供精确可靠的蚀刻和灰化性能。这台机器能够蚀刻各种材料,灵活的设计可以方便维护和定制。该机还包括多种安全特性和预测性维护系统,确保运行安全可靠。
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