二手 PLASMATHERM / UNAXIS Series 70 #293664981 待售
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PLASMATHERM/UNAXIS Series 70是一种成本效益高、先进的asher/Etcher设备,专为各种基材的快速、精确的蚀刻和灰化工艺而设计。适用于一系列行业,包括半导体、电子元器件、通用工程、医疗器械行业。UNAXIS系列70由基板温度控制(STC)和闭环反馈(CLF)构成。这些特性可以通过精确控制基板温度来实现更高的蚀刻和灰度精度和均匀性。STC还有助于增强蚀刻过程,从而能够更准确有效地控制蚀刻速率和均匀性。PLASMATHERM系列70提供高级蚀刻和灰烬处理功能。它能够在一个周期内同时蚀刻和或灰化多达80个晶圆。蚀刻器/asher设计有几个加工室,允许同时蚀刻和/或灰化多达80个晶圆。腔室还配备了自动晶片对准能力,使蚀刻器/asher能够将晶片精确移动到所需的位置,防止晶片在过程中旋转。此外,70系列还配备了自动晶片拾取系统,可安全、快速、准确地加载蚀刻和/或灰化工件。PLASMATHERM/UNAXIS系列70还具有直观且用户友好的基于Windows的平台。该平台为操作员提供了根据自己的独特要求定制蚀刻和灰烬工艺的能力。该单元还包括一大堆可以设置和调整的不同参数,以优化过程的性能。UNAXIS 70系列的设计具有很高的可靠性和耐用性,非常适合各种行业的高需求应用。其强大的设计和卓越的制造质量确保了机器能够处理在各种生产环境中的连续使用。它的灵活性还使PLASMATHERM Series 70成为需要较小批量生产或频繁更改蚀刻和灰化参数的应用的理想选择。Series 70是一款经济实惠的高级蚀刻器/asher工具,专为各种基板的精密蚀刻和灰化而设计。该资产配备了各种功能,如基板温度控制和闭环反馈,使基板温度的精确控制成为可能。它能够同时蚀刻和/或灰化多达80个晶圆,并且包括一个直观且用户友好的基于Windows的平台。PLASMATHERM/UNAXIS系列70的设计具有很高的可靠性和耐用性,非常适合各种行业的高需求应用。
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