二手 PLASMATHERM / UNAXIS Shuttleline #9351989 待售

PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline是一种创新的湿蚀刻器/asher，用于微电子和纳米技术行业。UNAXIS Shuttleline有一个单一来源、低成本的晶片处理平台，可同时处理多达20个晶片，并有可选的蚀刻/灰化配方。它被设计为一个独立的单元，包括单晶片预清洁和后清洁站，以及可选的批量浸入预清洁和后清洁系统，可以升级以提高吞吐量。工艺室具有高达250摄氏度的高温选项、用于不同蚀刻/灰化配方的静态或动态室,以及通过现场工艺控制监控工艺事件的功能。PLASMATHERM Shuttleline设计用于处理各种晶圆尺寸和材料,能够处理多达150 mm晶圆尺寸。Shuttleline还设有"防锁室"，以减少处理时间，提高吞吐量。此外，PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline配备了配方管理设备，用于存储和回收用户定义的配方，以及内置数据采集和分析系统，该系统能够捕获层压工艺图像，供以后分析。除了先进的功能外,UNAXIS Shuttleline还结合了灵活性和易用性设计,具有可互换的晶圆载体和自动诊断功能,便于快速维护。此外，该装置还配备了一整套安全功能，包括紧急压力关闭机和自动水关闭阀，以防止可能的有害物质释放和设备损坏。最后,PLASMATHERM Shuttleline的开放体系结构允许为自定义应用程序轻松与其他系统集成。总体而言,Shuttleline湿蚀刻器/asher是一种非常先进且可靠的蚀刻/灰化设备,非常适合微电子和纳米技术行业。它兼具灵活性、安全性、成本效益和易用性,是任何蚀刻/灰化工作的理想选择。