二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9201916 待售
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PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720是一种先进的等离子体蚀刻和灰化系统，用于半导体制造。它能够进行干蚀刻以产生纳米级的特征，同时保持良好的工艺重复性和生产产量。蚀刻器/asher有自己的高端控制器，并配有30英寸的等离子体源，允许最大蚀刻容量为20w/cm2。它采用高性能、多任务、真空系统,能够快速切换蚀刻参数,同时保持稳定的工艺环境。其先进的蚀刻技术使蚀刻工艺能够精确控制到亚纳米分辨率。该单元具有直观的用户友好图形用户界面（GUI）和实时流程信息传递功能。UNAXIS SLR 720利用其自我监控系统，可以实时检测和调整工艺条件。它通过调整离子能量、气体压力和冷却等领域的参数，提供了先进的工艺优化。蚀刻器/asher内置了诊断和状态监控系统，可以及时检测可能出现的问题，保证最终产品的高质量。配备防污和内置安全系统，确保设备安全运行。该单元具有宽阔的工艺窗口，可用于在高达500摄氏度的温度下蚀刻和粉刷电介质、砷、硅、金属、聚酰亚胺等材料。它的自动化过程允许基板兼容性和均匀的材料去除,而不会损坏基板.它具有生产深沟槽、蚀刻图桉、微通风和小至0.25微米的装置特性的多功能性。总之，PLASMATHERM SLR 720是一种先进的蚀刻器/灰化器，能够以纳米分辨率生产高质量和可靠的零件。凭借其直观的用户界面、自动化的流程、内置的安全和诊断系统,它可以在时间和经济高效的方式上为用户提供可靠的结果。
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