二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9229827 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720是为精密等离子体蚀刻和灰化应用而设计的蚀刻/灰化装置。针对包括硅、石英、半导体、蓝宝石等材料在内的基板进行2D或3D蚀刻和灰化优化。UNAXIS SLR 720利用UNAXIS串联等离子体蚀刻技术（IPE）提供准确和可重复的高通量工艺结果。该装置有一个可容纳720个晶圆的CVD腔室。它具有直接驱动的负载锁和高重复性，调压智能系统在保持无颗粒环境的同时动态调节压力。蚀刻室具有可调的工艺压力，并配有PLASMATHERM MHD精密等离子体源。这提供了非常高的蚀刻速率，同时保持了极好的选择性与各种蚀刻气体，包括SF6，CF4，CF2Cl2，和许多其他。该装置配有电子质量流量控制器，用于精密给药蚀刻和灰化气体，以及在蚀刻和灰化过程中控制基板温度的能力。此外，该系统支持高精度羽状成像技术，主动监测蚀刻过程，调整蚀刻配方，以提高稳定性和精度。它还具有高实时快速调谐功能,可快速优化流程参数。在安全方面，该机组配备了多种工艺压力控制功能和众多的压力安全传感器。这样可确保人员和敏感样品的安全环境,同时降低过程失败的风险。再者，该机组具有有效的CO2冷却系统，以确保过程环境稳定。总体而言，PLASMATHERM SLR 720是一个用途广泛的蚀刻/asher单元，设计用于精密等离子体蚀刻和灰化应用。它具有多种安全功能和先进的过程控制,允许重复和可靠的过程结果。