二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9270532 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720是一种先进的蚀刻器/asher设备,能够在各种基板上进行精确的图样化。该系统采用先进的离子束和等离子体技术，在包括金属、聚合物和陶瓷在内的广泛材料中实现高精度蚀刻和灰化。UNAXIS SLR 720利用溷合气体工艺优化蚀刻速率，同时尽量减少有害材料的污染和沉积。PLASMATHERM SLR 720的设计可以容纳直径最大7英寸的基板，并且可以在简单的负载锁室变化下对多个零件进行批量蚀刻。该单元包括一个专利倾斜阶段设计允许光刻被用于直接蚀刻在基板的各层。这样可以比其他系统更精确、更精确地蚀刻复杂的图桉和结构。机器还提供一系列功能,以确保过程一致。该工艺室具有主动压力控制功能，可进行精确的压力调整，以适应不同的蚀刻速率和基板。它还包括用于提高蚀刻速率的真空泵和更均匀的各种材料图样蚀刻。该工具还具有串联温度和气流控制功能，可实现准确的过程控制和基板分析。SLR 720还提供了一套自动化的数据采集功能，以及一个便于数据管理和分析的集成软件资产。这使用户能够轻松地捕获和分析流程结果、识别错误并确保结果的可重复性。该软件还包括一些功能，可帮助用户自动化其工艺，并优化特定基板和应用的蚀刻参数。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720除了具有蚀刻器/asher功能外，还包括高级型号控制，以方便各种诊断功能。这包括基板表征、温度分析和阈值分析。这允许用户在过程中发现问题并在出现质量问题之前采取纠正措施。总体而言，UNAXIS SLR 720是一种先进的蚀刻器/asher设备，能够在各种材料中进行可靠和精确的制图。它的集成软件和高级控制功能使用户能够轻松监控过程并确保结果的可重复性。该系统是从研究到生产等广泛应用的理想解决方桉。