二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9270613 待售

PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720
ID: 9270613
晶圆大小: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8".
PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720是一款针对需要高产吞吐量和卓越工艺性能的用户而设计的蚀刻器/asher。UNAXIS SLR 720提供卓越的性能,使用户能够获得更高的产量,同时最大限度地提高吞吐量。PLASMATHERM SLR 720具有获得专利的远程等离子体源技术,提供增强的工艺能力和高精度控制。SLR 720也非常适合低k应用,因为它提供了更高的选择性。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720的等离子体源提供了高级蚀刻功能和卓越的双向控制,使用户能够根据其确切的应用需求调整其过程。它具有板载、高功率的10瓦射频发电机,可提供高性能、稳定的蚀刻。射频发生器的0-150kHz总范围允许用户微调其工艺以获得最佳效果,从而确保卓越的蚀刻均匀性和表面光洁度。UNAXIS SLR 720还通过其专利喷雾/旋转应用提供了卓越的涂层能力。喷雾/自旋应用提供了出色的覆盖范围和均匀性,使用户能够在整个基板上实现均匀涂层的稀薄和惰性大气的均匀性。它还提供了AR涂层或氯烤盘的选择,允许用户选择提供最佳结果的应用的最佳选择。PLASMATHERM SLR 720还具有先进的O2-ion轰击功能,使用户能够实现出色的蚀刻选择性和蚀刻速度。O2-ions轰击还有助于降低缺陷密度,提高工艺稳定性和产量。单反720也与一系列标准基板兼容,如石英和蓝宝石。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720的设计考虑了用户,为具有各种流程要求的用户提供了一系列灵活性。它专为易于使用而设计,具有直观的用户界面,允许用户快速设置、配置和监视其流程。UNAXIS SLR 720的高级诊断和分析工具可帮助用户发现流程问题并查明可能的改进领域。PLASMATHERM SLR 720是寻求高产量蚀刻器/asher的用户的绝佳选择,该蚀刻器/asher可以产生质量最高的结果,并具有卓越的工艺性能。凭借其一系列的高级功能,用户能够根据其确切的应用程序需求对流程进行微调,从而优化其产量、质量和生产效率。
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