二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9270614 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720是业界领先、先进的蚀刻和灰化设备,专为广泛的基于等离子体的晶圆加工应用而设计。其特点使其既适合研发又适合生产使用。UNAXIS SLR 720的大腔室直径为11英寸（270mm），能够处理全尺寸300 mm晶圆。该建筑由超高压和低压等离子体带组成，隔离独立，允许更高的工艺灵活性。该系统包括一个全长基板加热单元，确保在尽可能低的温度下蚀刻和灰分均匀。该室配有端点探测装置，以感知过程完成。机器的高压区域的功率水平可达1000W。它具有数字浮动功率控制与自动调频（AFT），有助于保持过程的准确性和可重复性。它还包括可调节的射频调谐点，增强均匀性和可重复性。该工具还能够进行现场压力监测，以确保高流程稳定性和运行之间的一致性。另一方面，低压区的峰值功率高达300W，并有两条独立的流控气线。最多可实时控制四种前体的气体组成和输送。低压蚀刻化学的独特之处在于其蚀刻干燥的能力，适用于包括抗蚀剂、蚀刻和厚度控制过程在内的多种工艺。其中包括遥控泄漏阀，以确保操作过程中的安全。PLASMATHERM SLR 720还提供了帮助用户监控蚀刻和灰分工艺关键晶片特性的功能。它监视温度、等离子体暴露、射频功率和腔室压力。此外,它还具有端点检测（EPD）功能,可以指示任务的完成并防止晶圆的过度处理。SLR 720 蚀刻器/asher是一款行业领先的资产,兼具鲁棒性、灵活性和精确度。这款多合一工具可用于多种应用，提供卓越的效率和性能。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720具有易用性和高精度和精确度,是任何希望创造高质量、可靠晶片产品的人的绝佳选择。