二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 730 #293660356 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 蚀刻器/asher是一种高度精确、功能强大的半导体行业硅片蚀刻和灰化生产工具。它配备了新设计的8室工艺室和较大的工艺区域，以从生产线工艺配方中获得最佳的蚀刻和灰化性能。它为高真空和低压下的批量生产提供了更高效的工艺效果，并提供了最佳的均匀性和可重复性。UNAXIS SLR 730配备了可靠的射频发生器，确保在深度、轮廓和表面光洁度方面具有均匀性的精确和坚固的蚀刻。由于其先进的线性运动系统和调谐频率，它能够通过高分辨率和可重复的工艺在直径达300 mm的晶片上进行蚀刻。最先进的计算机控制自动调谐控制可确保所有空腔之间的均匀性和蚀刻时间。而且，PLASMATHERM SLR 730采用了独特的气体输送系统，有助于确保最佳气流以实现蚀刻均匀性。该系统有助于提供来自所有腔室的均匀气体分布和向腔室的均匀流量，从而提高高真空和清洁过程中的气体利用效率。此外，SLR 730采用模块化接口和部件，如腔室、过滤器管、支撑结构、输送机以及真空和气体输送管线。它还结合了一个模块化的可编程逻辑控制器（PLC），处理时间临界的过程控制和传感，并提供动态显示、参数调整和追溯机制。为确保最高的可靠性和安全性,PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 蚀刻器/Asher采用不锈钢内部和外部设计,为故障安全、带垫圈的法兰、电子钥匙锁、泄漏检测器和温度传感器在关键功能部件上内置冗余。它还符合所有适用的安全和健康条例和标准。