二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 740 #9224550 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740是一款蚀刻器/asher，通过使用高精度控制和先进的工艺测序设备设计，具有更高的生产率、卓越的稳定性和更好的产量。这种蚀刻器/asher能够以高达每小时18,000晶圆的速度处理各种简单和复杂的基材。它能够在蚀刻和后蚀刻清洗过程中取得优异的效果。UNAXIS SLR 740采用创新的"双轴"设计，结合了两个旋转阶段，以确保理想的最终效果。这种双轴设计降低了扭矩和振动，提高了蚀刻工艺的精度，为更精致的基板提供了高精度。PLASMATHERM SLR 740以其精确的模式定义,确保了优越的模式传递和响应时间.利用先进的工艺控制系统对蚀刻深度进行精确的控制。单反740的电光单元也使用先进的阻抗技术来持续监控蚀刻过程。本机检测晶片基板上的颗粒和气体缺陷，并自动调整蚀刻时间、气体流量和批量大小，提供优越的工艺控制。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740还具有利用等离子体活化提高蚀刻速率和产量的射频发生器。射频发生器可实现高蚀刻速率和低工艺温度，从而最大限度地减少晶圆损伤和热膨胀引起的构象变化。UNAXIS SLR 740还包括一个先进的供暖管理工具，允许用户设置室内和基板温度，以确保最佳性能。PLASMATHERM SLR 740强烈降低温度波动和过程波动，即使在长时间蚀刻过程中也能获得更高的产量和更好的重复性。总体而言,单反740是加工高精度基板和材料的理想蚀刻器/灰化器,安装时间最短,产量更高。其双轴设计、先进的工艺控制资产和射频发生器提供了卓越的工艺控制和最佳的蚀刻速率，以获得优异的最终效果。