二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 740 #9284674 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740是一种先进的蚀刻器/Asher，设计用于MEMS和微制造应用中板和晶片的超精密等离子体蚀刻和粉刷。它能够产生至少0.2米尺度特征μ图桉，同时提供优于磨料方法的可重复性。该设备采用脉冲直流等离子体源和高分辨率压差系统进行工程设计，以创建和维持一个靠近表面的压差区域，进行蚀刻和粉刷。这样可以更好地控制等离子体护套和降低材料的温度蚀刻/灰化。UNAXIS SLR 740还包括一个多级等离子体蚀刻/灰化技术，以加强过程控制和提高质量。该设备的高级功能包括高精度和可重复的高固体射频发生器,以确保一致和可靠的蚀刻、灰化和成像,并具有低成本的每个特征。此外，该机器还配备了一个专用的连续气体输送模块，可用于多种气体装置。这对于需要低温蚀刻/灰化的应用非常理想，并将确保一致和准确的等离子体结果。该工具还包括Vector Plus控制和合规性软件,该软件提供无限的配方和配方安全性,以及一个智能、用户友好的图形界面,用于监视和记录所有与流程相关的参数。该资产还与一系列UNAXIS和nonPLASMATHERM自动化处理系统和真空技术兼容，以提高灵活性和更快地利用工具。PLASMATHERM SLR 740能够蚀刻/粉刷各种材料,包括硅、蓝宝石、多晶硅和铝,并且能够产生0.2 μ m或更低的最小特征尺寸,是您所有MEMS和微型制造应用的智能选择。