二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR Series #293777485 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR系列是一个尖端的等离子体蚀刻器/asher系统，旨在满足半导体和薄膜行业苛刻的蚀刻和清洁要求。作为等离子体处理设备领域的领先解决方桉，该系列为从先进的微电子到光电子等广泛的应用提供了无与伦比的性能、精度和可重复性。UNAXIS SLR系列的核心是其先进的等离子体处理技术，能够精确控制蚀刻和清洗过程。设备利用高密度等离子体源，通常是射频（RF）或微波源，产生与被加工材料表面发生反应的等离子体。这种等离子体可以配置为提供多种化学物质，使不同材料的选择性蚀刻或灰化具有很高的选择性和均匀性。PLASMATHERM SLR系列的关键亮点之一是它在容纳各种基材尺寸和类型方面的多功能性。该系统可以支持从小样品到大半导体晶圆的基板，使其既适合研发又适合生产环境。此外,该单元还提供了一系列处理模式,包括用于高通量应用程序的批处理和用于精确控制单个样品的单晶圆处理。在工艺能力方面，单反系列在蚀刻和灰化应用方面均表现出色。蚀刻包括有选择地从基板表面去除材料，创建设备制造所需的精确特征和图样。该机先进的工艺控制能力保证了高蚀刻速率、卓越的均匀性和优越的选择性，非常适合制造具有亚微米特性尺寸的先进半导体器件。另一方面，灰化涉及从基板表面去除光致抗蚀剂或其他有机污染物。PLASMATHERM/UNAXIS SLR系列提供高效的灰化工艺,对底层材料的损害最小,确保设备制造的高产率和可靠性。该工具的等离子体化学控制允许轻柔而有效地去除有机层，提高加工底物的整体清洁度和质量。此外，UNAXIS SLR系列还配备了先进的自动化和过程监测功能，以提高生产力和可靠性。资产包括精密的气流控制、温度调节和端点检测能力，以确保精确的过程控制和可重复性。此外,实时流程监控和数据记录使用户能够跟踪流程参数并优化流程配方以获得一致的结果。总之,PLASMATHERM SLR系列是一款最先进的等离子体蚀刻器/asher模型,为各种半导体和薄膜加工应用提供了无与伦比的性能、灵活性和可靠性。凭借其先进的等离子体处理技术、通用的底物处理功能以及全面的过程控制功能,本系列是寻求针对其要求最苛刻的应用而提供卓越蚀刻和灰化解决方桉的组织的首选。