二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9250539 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR是UNAXIS公司为高端应用设计的先进蚀刻和灰化设备。它是一种高性能的干蚀刻工具，具有多腔室设计和多蚀刻和灰化系统。它有一个高真空室，允许各种材料的沉积和蚀刻形成错综复杂的结构和图桉。该工具还具有高速多级平面化系统，用于控制线条之间的间距，并创建精确的图桉，以缩短处理时间。它还具有快速更改蚀刻和灰化时间以及流程的功能,以优化流程性能。腔室可以标示出多种蚀刻和灰化系统，所有这些系统都能够在高压和高温下运行。通过这样做，设备能够对不同的晶片和基板应用不同的蚀刻和灰化工艺。该机器还能够应用多个蚀刻步骤，以创建复杂结构的高分辨率模式。结合强大的燃气工具和先进的光学系统，该资产能够对缺陷率低、重复性和均匀性高的材料进行蚀刻和灰化处理。该模型还可以在最高压力和低温下应用工艺，以避免过热和氧化。该设备可对单面和双面基板、液晶显示器、薄膜、金属等材料应用各种蚀刻和灰化工艺。它还有一个自动运行的系统和纠错装置，可以提高蚀刻/灰处理的生产率。UNAXIS SLR还配备了高端晶圆对准机，以确保基板的精确对准，这对于高分辨率模式至关重要。总体而言，PLASMATHERM SLR是一种先进的蚀刻和灰化工具，可用于各种应用，从蚀刻复杂复杂的图桉到灰化液晶、薄膜、金属等等。它还具有在高压和低温下处理的能力,并具有自动晶圆对齐和运行到运行的系统,确保了准确和可重复的过程以及高生产率。