二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9262446 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR是一款高级蚀刻器/asher，专为Si、GaAs、SOI、GaN、RTP和PECVD等先进材料的高清洁度、高性能蚀刻和粉刷而设计。该工具采用新颖的单一射频电源设计,可提高蚀刻均匀性,有助于卓越的防止过度蚀刻,并有助于确保出色的工艺稳定性。单个射频泵还减少了每个加热器的热预算，从而缩短了蚀刻时间。该机随附的软件包提供所有射频功率参数的控制，从源功率和功率电平控制到脉冲时间控制和腔室稳定性。用于等离子体监测的采样摄像机设备允许使用精确的无损过程监测进行原位过程优化。控制系统还允许设置和修改流程配方，从而允许各种新的和创新的流程系统。该工具还安装了基于微波技术的动力装置，以进一步提高精度和工艺控制灵活性。此外,还可以选择使用低温冷却机,允许某些材料的工艺温度接近-100 °C。此外，该工具安装了各种真空系统，以减少工艺污染和提高蚀刻均匀性。UNAXIS SLR有一个先进的自我校正终点检测工具，防止过度侵蚀并确保可重复性。机器上的标准加工室有一个75.4mm x 102mm的可供蚀刻的窗口区域和15.2升的蚀刻体积。使用ceramicliner升级的附加升级可以使可用窗口面积增加43.4%,蚀刻量增加50%。PLASMATHERM SLR是制造高级设备的理想工具,对于寻求提供出色蚀刻一致性、稳定过程和最新监控系统的工具的工艺工程师来说,它是一个绝佳的选择。