二手 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9275973 待售

PLASMATHERM/UNAXIS SLR是一种高速等离子体蚀刻和灰化溶液，设计用于硬质材料的精确微加工。它具有多种特性，非常适合用于生产先进的技术应用，如半导体和MEMS（微型机电系统）。UNAXIS SLR专为高级工艺灵活性和高生产率而设计,能够加工300 mm x 600mm以下的基板。适用于各种材料的灰化和蚀刻，包括金属、陶瓷和蚀刻速率高达60 μ米/分钟的聚合物。等离子体蚀刻和灰化设备建立在一个三臂机器人平台上，以便对基板进行精确处理。其双压力技术以最高精度在整个基板上提供均匀的蚀刻速率。它还提供了最快、最坚固的蚀刻/灰烬系统之一,可用于行业快速周转。PLASMATHERM单反利用先进的等离子体控制系统提供高质量的微机械结构。三级等离子体提取系统可确保高基质产量和低运行成本。可调等离子体源还保证了最佳蚀刻速率和均匀性，而与基材性质无关。该装置还提供了广泛的等离子体气体选项，包括氯气、氧气、氮气和氙气，以实现对不同材料的应用。它还具有高容量和低容量操作的复杂过程自动化功能,以最小的操作员干预来确保高基板产量。单反也非常可靠，不仅提供高性能，而且提供多年无问题的操作。集成的脚踏开关可对机器进行安全的远程控制。PLASMATHERM/UNAXIS SLR设计小巧,安装方便,是需要快速吞吐量、卓越精度和高产率的应用程序的绝佳选择。