二手 PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #293817395 待售

PLASMATHERM/UNAXIS Versaline是一款为等离子体蚀刻干蚀刻而设计的蚀刻器/asher。它能够为各种半导体器件加工应用蚀刻和灰化基板。这种设备是为航空航天和汽车电子工业量身定制的，是一种强大的干蚀刻工具，用于各种尺寸几何形状的复杂3D特征。利用其通用的等离子体源，提供了精确的图样设计、卓越的均匀性和更高的吞吐量，确保了最佳的蚀刻效果。UNAXIS Versaline具有一个5.9英寸宽的多级等离子体源，使蚀刻过程能够得到精确控制，从而实现精确的纳米图样化以及高长宽比蚀刻。等离子体源利用氙气作为蚀刻气体，能够同时进行O2和CF4等离子体蚀刻。这允许以不同的蚀刻速率对不同类型的材料进行蚀刻。此外,PLASMATHERM Versaline先进的机器人臂技术及其自动装卸设备提供了自动化的生产解决方桉,消除了许多手动过程,提高了吞吐量和整体系统生产率。Versaline有一个集成的清洁装置，它利用去电离水冲洗和干洗技术，以确保在蚀刻过程后基板表面清洁。此外，它还有一个表面处理冷却器模块，以帮助灰化过程。PLASMATHERM/UNAXIS Versaline的监控机具有先进的数据采集工具,用于实时监测和分析蚀刻和灰化过程,以确保获得最佳结果。此资产包括允许轻松操作的图形用户界面,以及具有运动控制功能的高分辨率摄像头,用于在蚀刻和灰化过程中监视过程。UNAXIS Versaline有一个可靠的安全模型，以确保正常运作。该设备包括紧急停车、排气阀、光学和电气安全传感器以及警报和状态指示器。此外，该系统还配备了减少排放控制装置，从机器排出有害气体，以确保清洁的工作环境。PLASMATHERM Versaline是一款功能强大、灵活的微电子行业蚀刻器/asher的理想产品。它凭借先进的等离子体源和自动加载工具可以提供优异的效果，其集成的安全资产确保了蚀刻过程的安全完成。它非常适合需要复杂3D功能或纳米级功能的应用程序,并提高了吞吐量和统一性。