二手 PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #293826125 待售
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ID: 293826125
晶圆大小: 6"
优质的: 2005
ICP Etcher, 6"
Cassette type: Loadlock and transfer chamber, 6"
ESC Chuck type: Process chamber, 6"
RF Generator module
EDWARDS STP-A1303CV Turbo pump
SKM SKMCS-30W Chiller
ENI NOVA-50 RF Generator
COMDEL DBS RF Generator
EMS 04500-011 Robot
Throttle / Gate valve: NC TPV / IPV Valve inspection
Process chamber: Vesaline DSE Process
Monitor
MKS Gases: C4F8, SF6, Ar, O2, N2
2005 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Versaline是一个领先的蚀刻器/粉碎器，用于一系列应用，包括半导体加工、MEMS器件制造、光子器件制造和其他薄膜沉积工艺。UNAXIS Versaline提供高质量的蚀刻和灰化工艺，具有极好的可重复性和严格的尺寸控制。该设备采用最新的MEMS制造技术，以确保卓越的均匀性和批量生产就绪。利用专有的等离子体技术，UNAXIS和PLASMATHERM Versaline提供了卓越的均匀性和控制性，从而缩短了基板加工时间并改进了设备规格。Asher/etcher可提供高吞吐量、清洁和经济高效的解决方桉,占用空间很小。Versaline采用封闭式腔室设计,操作噪音低,提供用户友好且节省空间的平台。它还通过了第三方安全要求的认证，使其操作高度可靠和安全。在可扩展性方面，PLASMATHERM/UNAXIS Versaline的设计容量高达150 w RF功率和500 mm2处理区域。该系统采用4篮子设计,可灵活配置批量和单个基板工艺。此外,还通过一系列自适应功能（如可选的自动负载储物柜、基板对准漫游车以及实时监视和控制系统）,增强了设备的功能,从而使操作员能够始终保持一致的产品质量。UNAXIS Versaline 蚀刻器/asher也是一台高度可定制的机器,可轻松集成到现有的流程基础架构中。该工具与各种流程模块集成在一起,以实现高效、自动化的工作流程,并提供最少的手动编程,从而最大限度地提高资产性能和吞吐量。蚀刻器/asher还得到了包括高级清洁部件、传输外围设备和RF匹配单元在内的各种配件的支持,从而使模型能够满足任何特定的蚀刻需求。总体而言,PLASMATHERM Versaline 蚀刻器/Asher是一系列蚀刻和灰化工艺的理想选择,因为它提供卓越的性能、耐用性、可扩展性和灵活性,为用户提供所需的可靠、可重复和经济高效的结果。
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