二手 PLASMATHERM / UNAXIS Versalock 700 #9311007 待售
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ID: 9311007
晶圆大小: 4"
优质的: 2000
PECVD System, 4"
(2) Process chamber
Load lock
Wafer handler
PM1:
For HDCVD
Gases: SiH4, N2, NH3, N2, O2, Ar, SF6
Wafer type: Mechanically clamped wafers
PM2:
For PECVD
Gases: SiH4, N2O, NH3, N2, CH4, He, SF6
Wafer type: Electrostatic chuck
Removed parts:
PM1:
Roots blower package
Gas box exhaust switch
NESLAB Chiller
Vacuum tees
He MFC for wafer backside
ENI (Bias) RF Generator
ICP RF Match network
RF Cables
Match position controllers
PM2:
Roots blower package
Air regulator assembly
Gas box exhaust switch
NESLAB Chiller
PM7 Controller
RF5S RF Generator
Waterflow sensor
RF Feedthrough
N2O MFC (PM2)
RF Cables
Match position controllers
Missing parts:
Capacitor housing for ICP
BROOKS AUTOMATION Robot for wafer handler
2000 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Versalock 700是一款针对精密和高速率蚀刻应用而设计的蚀刻器和asher。它旨在为用户提供卓越的质量、准确性和可重复性。UNAXIS Versalock 700是一种工业级蚀刻器和asher设备，可实现快速蚀刻速率，速度高达28 nm/min。PLASMATHERM VERSA LOCK 700是一个自动化、模块化和可配置的系统，配备了多个区域，以实现灵活性和性能。它是为提供无与伦比的精度和可重复性与精密真空和气体测序，热控制和工艺剖面优化。PLASMATHERM/UNAXIS VERSA LOCK 700具有超高分辨率成像和定位功能,具有较高的对准和可重复性,并且具有高速率的al./Cu蚀刻工艺,具有较高的选择性和蚀刻速率。还配备了用于闭环监控和工艺优化的先进红外CCD摄像头单元，以及用于高性能蚀刻、清洁、光掩模感知、O2蚀刻的多个工具区。PLASMATHERM Versalock 700还配备了高效、符合人体工程学的设计，允许用户效率和分选产品贯穿始终。它专为无缝集成到现有系统而设计,具有全面的监控功能和故障排除工具。它由温度控制的石英室构成，能够精确控制工艺温度。Versalock 700具有可变压力源,可在各种组件中实现卓越的过程控制和结果的可重复性。总体而言,UNAXIS VERSA LOCK 700是一款高性能蚀刻器和asher机器,旨在提高精度、可重复性和卓越的质量性能。它配备了众多功能,旨在满足最苛刻的蚀刻和灰化应用,并且具有高度可配置和模块化的特点,可提供卓越的精度和工作效率。
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