二手 PLASMATHERM / UNAXIS Versalock #293804241 待售

PLASMATHERM/UNAXIS Versalock是一款为半导体、MEMS和薄膜加工而设计的蚀刻器、灰粉和等离子体清洁剂。这个工具是用一个专有的阴极开等离子体腔室和多种工艺流构成的，使它成为蚀刻和粉刷细腻结构最通用、最有效的工具之一。该设备采用了一种新的专利"干蚀刻锁定"系统，以提高等离子体蚀刻和灰化工艺的精度。高温UNAXIS Versalock蚀刻装置可配置为处理200 mm以下的任何基材尺寸和配置中的12个蚀刻/灰烬阶段。针对离子密度、等离子体参数和工艺参数的精确控制，优化了独特的阴极开孔设计。该机提供了一个集成的高温热处理室，配置用于所有类型的等离子体化学和气体溷合物。PLASMATHERM Versalock提供超锐利边缘定义、最小轮廓疲劳和低级蚀刻选择性。该工具采用了获得专利的双级高温灰化工艺，确保彻底清除沉积到基板水平的材料。Versalock资产还提供集成的视觉监控和晶圆映射,以精确描述过程结果和高级过程修改。包括一个高级配方管理器，以提供结果的统一性和最小化实验所花费的时间。通过实时数据记录和参数优化,进一步增强了PLASMATHERM/UNAXIS Versalock的复杂测量和分析能力。可选的高分辨率光谱仪提供过程结果的光谱分析,确保产品性能的准确表征。包括一个自动化的测试模型,以确保产品的一致性、产品的准确性和流程的可追踪性。UNAXIS Versalock蚀刻器、asher和等离子体清洁器是微观结构、MEMS和微观分子蚀刻/灰化过程的理想选择。独特的阴极开放设计消除了交叉污染,增强了边缘定义,并提高了蚀刻均匀性。较短的扫描时间和强大的测试设备工具使其成为一种通用、有效的蚀刻和灰烬工具。凭借其革命性的干蚀刻锁定系统，PLASMATHERM Versalock真正在竞争对手中脱颖而出。