二手 PLASMATHERM / UNAXIS Versalock #9227498 待售

ID: 9227498
ICP Bosch system.
PLASMATHERM/UNAXIS Versalock是由UNAXIS Technologies, Inc.开发的最先进的蚀刻器和asher。与传统的蚀刻和灰化方法相比,它提供了卓越的性能和工艺灵活性。UNAXIS Versalock是一种先进的等离子体蚀刻和灰化设备,利用高功率射频源和多室真空系统实现蚀刻和灰化功能。PLASMATHERM Versalock利用两个完全集成的热流室,以及两个磁控管和两个等离子体射流的组合,均匀快速地传递特定的干式等离子体蚀刻过程。Versalock具有高度精确和先进的控制单元,允许精确控制蚀刻参数,如功率、气流、压力和温度。这样可以严格控制蚀刻过程,从而获得最佳的产品性能。PLASMATHERM/UNAXIS Versalock还设有四个独立的气体反应堆,有助于减少污染的影响和提高准确性。UNAXIS Versalock具有一种新型的模块化和可互换组件的机器,允许用户快速简单地定制蚀刻和灰化系统,以更好地匹配应用程序。这使用户能够更高效地处理其流程,并最大化PLASMATHERM Versalock的功能。Versalock还具有较高的真空泵送速度,允许更快的干燥时间和更高的吞吐量。总体而言,PLASMATHERM/UNAXIS Versalock是一款非常先进的蚀刻器和asher工具,可提供卓越的性能、灵活性和精确度。UNAXIS Versalock易于定制模块化和可互换组件,并具有较高的真空泵送速度,是精密蚀刻和灰化的完美工具。
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