二手 PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9075710 待售

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ID: 9075710
晶圆大小: 8"
ICP System, 8" Single chamber Front end Robot ICP Process module Equipped with ICP source (8) Gas channels Transfer module: HINE 4.5 robot Load module: Dual cassette platform, 8" PLASMATHERM Design Wafer mapping sensors Mag lev turbo Turbo controller Process baratron.
PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700是一款最先进的蚀刻器/asher,其设计目的是快速、精确地以高精度对困难的材料进行微机械处理。它是同级产品中最先进的产品,具有一系列先进的蚀刻/asher技术,包括线性驱动系统、强大的真空室和耐用的低温等离子头。直线传动系统操作流畅,加工速度快,加工精度高.它旨在消除因热膨胀引起的翘曲和错位,即使使用极其敏感的材料也能确保可靠的操作。高精度真空室提供了出色的工艺控制和重复性,可调气流,可调压力水平。这确保了均匀的蚀刻和灰化,并减少了材料浪费。等离子体头为低温和高温过程提供一致的温度控制。它具有一个用于精确输送反应性气体的自对准喷嘴,以及精确的反馈控制,以确保每个工艺都得到最佳设置,从而达到最大精度。此外,等离子体头的设计目的是尽量减少污染,延长工具的寿命和确保原始结果。UNAXIS VLR 700拥有大量兼容的腔室材料,适合多种蚀刻和灰化工艺,让用户实现了非凡的精密微加工。它具有可调配方参数和软件自动化功能,非常适合原型生产和大批量操作。该工具还设计用于简单的操作和维护,使用户能够快速、轻松地进行维护。总体而言,PLASMATHERM VLR 700是一款高级蚀刻器/asher,可为用户提供无与伦比的性能和精度。它提供了广泛的特性和功能,例如线性驱动系统、强大的真空室、精确等离子体头、可调配方参数和软件自动化,使其适合各种任务。它是为简单的操作和维护而设计的,能够以最小的浪费实现高精度和可重复性。
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