二手 PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9272287 待售

PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700是一种基于真空的蚀刻器/asher，设计用于微加工工艺。它通常用于在基板上以高精度和重复性的速率蚀刻和沉积材料薄膜。该设备以真空锁定反应器室为基础，能够与任何工艺无缝集成。UNAXIS VLR 700由三个主要部件组成：真空室、工艺室和真空锁.真空室支持可编程的样品托盘和工艺室，可针对不同的应用进行定制。样品托盘由可调磁铁固定到位，有助于样品放置和工艺控制。该工艺室配有高度敏感的温度控制系统、辐射屏蔽装置和基板支架。真空锁通过使用平衡的门密封件和多个端口阀来确保最大程度的气密性。它也作为材料进出房间的出入口路径。PLASMATHERM VLR 700的先进工艺技术使专家能够以高精度和重复性的速率蚀刻、沉积和图样金属、氧化物和半导体材料。该装置采用集成工艺室和真空机，确保所有工艺操作得到最大精度和参数的控制和监控。数字控制器允许定制过程参数,从而实现准确、可重复的结果。VLR 700的设计提供卓越的气密性和出色的耐化学性,使其成为基于真空的应用的理想选择。刀具的高温公差（最高850 °C）允许蚀刻高温材料。此外，PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700配备了定制软件包，方便访问所有参数设置、流程数据和性能数据，方便设置和监控流程。总体而言，UNAXIS VLR 700资产是一种可靠且用途广泛的蚀刻器/灰化器，非常适合从半导体工程到微加工的应用。PLASMATHERM VLR 700具有先进的工艺技术、耐高温、可靠的密封性能,是寻求可靠蚀刻器/灰化器的理想选择。