二手 PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9384115 待售

PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700是一款最先进的蚀刻器/asher，适用于先进的半导体制造应用。这种设备是一种溷合等离子体/真空蚀刻器/灰化器，能够处理各种材料表面的蚀刻和灰化过程。它是一个由三个相互连接的主要组件组成的模块化系统，在处理基板时可以提供最佳的精度和灵活性。射频发生器是UNAXIS VLR 700的主要部件之一，支持蚀刻和灰化过程。它能够达到高达1000瓦的功率水平，频率范围在20 kHz至13.56 MHz之间，并支持高密度等离子体均匀性、重复性和出色的工艺控制。这有助于精确处理、提高产量和降低拥有成本。PLASMATHERM VLR 700的工艺室是该单元的核心，设计为提供低压、均匀的等离子体环境。它的占地面积小,便于安装和维护,而其可移动、可回流的功能和多用途的接入端口则便于高效的基板加载、卸载和维护。该工艺室配有高效的健康监测机，适用于蚀刻、清洁、制造薄膜和纳米结构等工艺，用于先进的半导体制造。最后,控制器是VLR 700的控制中心,使用户能够有效地监视、维护和控制蚀刻/灰化过程。它允许操作150多个不同的参数，并且通过使用行业标准接口很容易与外部系统集成。控制器包括高级诊断功能，使其适合各种工艺条件和工艺配方。PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700提供了一个全面、集成的蚀刻器/asher工具，非常适合半导体制造应用，如MEMS、薄膜蚀刻、纳米加工和高级包装。它兼具蚀刻和灰化功能、顶级特性和出色的工艺控制功能,使制造商能够高效生产高质量和可靠的元件,并获得更高的收益和更高的投资回报。