二手 PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9139629 待售

PLASMATHERM/UNAXIS VLR是一种蚀刻器/asher，通常用于半导体加工和其他应用。它能够利用高温等离子体射流和其他集成组件每小时处理数百个晶圆。整个设备的设计既方便用户又高效，其各种安全功能使其成为专业设置和家庭实验室的合适选择。UNAXIS VLR包含一个高精度的平面波导，它将高度聚焦的等离子体射流送过一个向大气和真空系统开放的液体生产室。等离子体射流能够达到超过1000 °C的温度，用于去除晶圆表面的物质。液体生产率室是一个300毫米的石英容器，包含一个独立的循环液体供应，以控制室内的温度和腐蚀性环境。该单元还包含一个集成冷却模块和一个计算机界面，允许用户对蚀刻过程进行编程和监控。冷却模块有助于在蚀刻过程完成后快速冷却基板,从而实现快速高效的生产周期。计算机界面不仅可以对机器进行编程，还可以进行实时监控和数据记录。因此,用户可以同时监视工艺条件和结果,以保持最高精度。最后,PLASMATHERM VLR还具有多种安全功能,以确保对晶片或用户造成损害的风险降至最低。这包括一个封闭工具，防止工作人员接触蚀刻过程中使用的腐蚀性化学品，以及几个确保资产安全高效运行的集成传感器。总体而言,VLR是一种高效可靠的蚀刻器/灰化器,能够精确处理每小时数百个晶圆。得益于其高温等离子体射流、冷却模块、集成安全功能和计算机界面，它既适用于专业设置，也适用于家庭设置，为用户提供了一个高效的模型，可以用来生产高精度的晶片。