二手 PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9205770 待售

PLASMATHERM/UNAXIS VLR是一种独特的干蚀和灰化工具，设计用于处理大型基板。该设备设计用于加工直径达300毫米的基板，最大蚀刻速率为10微米/分钟，可满足大批量生产的最高需求。UNAXIS VLR除了具有大量生产能力外,还提供卓越的表面特性、高生产率和低运行成本。该系统能够处理各种各样的基材，包括氧化物基材料、介电材料、有机材料和聚合物材料。通用的腔室配置还允许一系列受控蚀刻过程，如等离子体聚合、等离子体蚀刻、干蚀刻、表面活化和金属蚀刻。该单元还为不同类型的基板提供了顺序蚀刻过程的可能性,从而能够生产具有复杂结构和3 D几何形状的设备。该机独特的一套特性设计达到了质量和性能的最高标准。其双真空室提供高效的工艺时间和一致的高通量性能。高级过程控制监视工具（PCMon）有助于确保高度可重复的精确度过程,而可选的CAD兼容性允许快速更换工具以实现最大吞吐量。此外,该资产还与各种认证和安全标准兼容,包括CE Mark、EU-EMC Directive和UL/CSA。PLASMATHERM VLR具有强大的板载用户界面和多个数字I/O端口,可连接到联网系统。集成的诊断模型和操作软件提供自动化的设置和操作,而实时趋势和数据记录则提供对流程参数和状态的完全控制。此外，该设备还配有安全联锁、屏蔽气体和用于环保解决方桉的阻氧化剂。总体而言,VLR是高批量生产的高级蚀刻器/asher的理想选择。它提供了高性能功能、直观的用户界面和环保解决方桉的独特组合。该系统具有广泛的基板和工艺，非常适合需要精确控制和重复进行蚀刻和灰化操作的用户。