二手 PLASMATHERM Versalock 700 #9355618 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9355618
晶圆大小: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8"
LM/TM Module
RIE Module
Cassette to cassette load lock
Robot transfer
LEYBOLD 361C Turbo pump with controller
MKS Throttle valve with controller
ADVANCED ENERGY RF10S 1000 W RF Lower electrode power supply
With match work and tuner
(4) Mass flow controllers.
PLASMATHERM Versalock 700是一种高品质的蚀刻/灰分工具,用于多种基材材料和工艺。这种精确的设备在使用各种尺寸的基板时可确保可重复的准确性和均匀性。它采用独特的符合人体工程学的湿式工作台设计,最大限度地提高用户舒适度,同时保持安全的工作环境。Versalock 700提供了一个宽的过程窗口,允许在蚀刻或ashing时获得高保真结果。PLASMATHERM专有VersaLock™模式选择功能允许用户将系统配置为最多可同时处理四个基板的多模式。这样可以确保所有基板上的蚀刻/灰分一致,从而提高均匀性和可靠性。利用先进的蚀刻技术,PLASMATHERM Versalock 700在生产线环境中精确、可重复,能够保持工艺参数的一致和统一。它具有高度适应性的过程控制功能,使设备能够在提供质量结果的同时提供最大的吞吐量和精度。Versalock 700还提供各种配件,旨在根据特定应用定制蚀刻/灰烬工艺。这包括样品支架、样品架、过程监控传感器和质量流控制器。它还有一个可选的超低压蚀刻,非常适合精细的特点和精致的基材材料。PLASMATHERM Versalock 700还配备了综合安全机器,以保护用户免受伤害。这包括内置的防止加热气体逸出的干式机柜、防止过热的热切工具以及设计用于在压力水平超过预定极限时释放的压力联锁装置。总之,Versalock 700是一种先进的蚀刻/灰分工具,为各种基材材料和工艺提供精确、可重复的结果。利用其广泛的进程参数窗口,用户可以根据特定的应用程序定制蚀刻/灰分过程。它还具有广泛的安全资产,以保护用户免受风险和伤害。
还没有评论