二手 PLASMATHERM Versalock 700 #9355619 待售
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ID: 9355619
晶圆大小: 8"
PECVD System, 8"
LM/TM Module
Cassette to cassette load lock
Robot transfer
(6) Zones WATLOW Chamber heat controller
ADVANCED ENERGY RF5S 500 W RF Lower electrode power supply
With match work and tuner
(4) Mass flow controllers.
PLASMATHERM Versalock 700是一款用于精确材料加工的最先进的蚀刻器/asher。它利用最新技术延长任何项目的寿命,从超细金属痕迹到大型原型。Versalock 700提供材料科学、研究和工业应用所需的多功能性和功能。PLASMATHERM Versalock 700具有先进的人体工程学设计控制面板,可提供实用、易于使用和直观的用户体验。精确的2.8英寸LCD彩色触摸屏使用户能够快速准确地配置和保存作业,以防止功能退化。382 MB的标准内存容量结合大型图形液晶,最多可存储40个进程程序,不需要额外的硬件。先进的化学材料具有多种蚀刻和磨料清洁能力。提供多种湿法化学蚀刻和灰化选项,包括粉末爆破和蚀刻。与所有PLASMATHERM系统一样,还提供可定制的清理选项,如超声处理、自动晶圆传输和扩展机器人操作。Versalock 700能够通过按下按钮蚀刻或烧掉不需要的材料,是高效操作的理想选择。在其核心上,PLASMATHERM Versalock 700配备了两个具有闸极的总线,以尽量减少对基板和晶圆表面特征的伤害。这些总线中的每一个都配有3-Axis机器人,以精确存放和协调每个目标晶片。机器人还具有距离基板高达+1"的隔离范围,确保来自外部的污染为零。此外,Versalock 700可以编程为在高电流和标准电源配置之间切换,以提高工艺效率。PLASMATHERM Versalock 700位于10级洁净室中,可提供完全封闭、无污染的工作环境。设备配有集成二极管激光器,只能均匀地影响目标材料,不需要额外的电源。此外,Versalock 700消除了与自动气体输送装置交换蚀刻系统气体相关的时间和成本。对于具有众多可定制选项的高效蚀刻/abling机器,PLASMATHERM Versalock 700是优越的选择。其直观的设计和易于使用的特性使其成为任何蚀刻或烧蚀作业的理想选择。
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