二手 PLASMATHERM VLN - Versaline #9124972 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9124972
优质的: 2005
ICP Etcher
Manual load lock - four wafer transfer
(RF1)ENI ACG-6B RF 500W - 13.56MHz power supply with a seren AT6NVL match work - MC2 controller
(RF2) ENI GMW-25A 2500W - 2.00MHz with seren AT25NVL match work - MC2 controller
Seiko seiki 1303CV turbo pump and SCU 700 controller
Inter cal gate valve
Edwards scroll roughing pump
(6) Mass flow controller/gas lines with isolation
Process and bypass valves
He backside cooling
Watlow chamber heaters and controllers
Jorin yvon endpoint
Plasmatherm windows based OS
208V, 3 Phase, 50/60 Hz
2005 vintage.
PLASMATHERM VLN-Versaline 蚀刻器/asher是一种精密控制的晶片加工机,设计用于蚀刻/灰分各种类型的材料,包括晶片、金属和硅基板。该机利用等离子体源以及高水平的控制和精确度来提供优异的蚀刻/灰化效果。Versaline的关键功能包括高精度控制、快速等离子体蚀刻/灰化以及精密的过程控制功能,这些功能允许具有挑战性的晶圆处理。该机利用100MHz射频发电机产生高达900瓦的射频功率，用于优化晶圆蚀刻/灰化。该机的12区蚀刻/灰室具有广泛的运动范围，可以精确控制蚀刻/灰参数，包括温度，以获得最佳的加工纯度。每个区域都有自己独立的过程控制和压力控制系统，以确保精确的结果。该机还设有一个12区烘烤站，在蚀刻/灰化前对晶片进行预处理，使用户可以实现更好的均匀性和过程重复性。烘烤站自设独立的温压控制系统，精度更高，效果更好。Versaline蚀刻/灰室采用优质铝制成，焊接结构，提供刚度、耐用性和优越的工艺性能。它还具有一个可编程的用户界面，可以对蚀刻/灰分参数进行简单有效的编程。此外,用户界面还有助于实时跟踪流程历史记录和监控性能。总之，VLN-Versaline 蚀刻器/asher是一种精密控制的晶圆加工机，旨在快速、准确地提供优异的蚀刻/灰化效果。它有一个复杂的多区域蚀刻/灰室，一个可编程的用户界面，和一个预先处理晶片前蚀刻/灰化烘烤站。凭借其高品质的构造和先进的功能，这台机器提供了一致的结果和高水平的客户满意度。
还没有评论