二手 PLASMATHERM Waf'r Batch 74 #9050092 待售

PLASMATHERM Waf'r Batch 74是由Plasma Therm LLC所创造的蚀刻器/asher设备。它设计用于对<200 µm和>200 µm厚的遮罩层进行精密蚀刻和灰化。批量系统设计有两种气源，一种用于等离子体蚀刻，另一种用于Ashing。气源由定制控制器控制，允许使用具有多个压力控制选项的单循环或多循环配方。该工具的特点是热解石墨（PG）室具有低磁场和坚固的加热-冷却单元。PG提供了一个最佳的真空环境，并确保了较高的过程均匀性。加热冷却机确保温度保持在晶圆上设定点的几摄氏度以内。批处理工具采用模块化设计,可在流程要求时轻松升级。它配备了高速装卸资产，以减少加工时间和先进的真空模型，以实现有效的真空控制和工艺精度。它装有高速、高分辨率的编码器，确保晶圆定位精确，蚀刻和灰化均匀。批处理设备使用的软件用户友好，为用户提供保存配方的选项，对支持的工具具有远程访问和联网功能，并生成报告。批处理系统还具有多项安全功能。其中包括紧急停车、联锁装置、电源面板和冷却剂机器。紧急停止允许操作员在紧急情况下快速停止工具。互锁工具可防止操作员出错和使用不正确。电源面板监视和控制资产。最后,冷却剂模型有助于保持温度在安全水平.综上所述,PLASMATHERM Waf 'r Batch 74使用先进的系统,对<200 µm和>200 µm厚的掩蔽层进行可靠的蚀刻和粉刷。它是一种安全高效的工具，方便操作员管理蚀刻和灰化过程。