二手 PLASMATHERM Wafer/Batch 740 #293595644 待售

PLASMATHERM Wafer/Batch 740是一款先进的蚀刻器/asher设备，旨在满足半导体和其他需要高精度工艺控制的行业的多样化需求。它是一个多合一的蚀刻/asher系统，使使用者能够在基板的蚀刻和灰化上达到极高的精度。该单元采用多个独立控制器，精确监控蚀刻和灰化工艺，以实现精密蚀刻能力和工艺可重复性。该机器包括对每个蚀刻器/洗衣机腔室的独立配方控制，以及当多个腔室并行运行时的自动、可重复的过程控制。使用集成的交互式软件模块,用户可以自定义蚀刻器/asher工具以满足其确切的流程要求。该资产具有高级诊断功能,包括事件日志记录和流程数据存储,以及功能强大、安全的访问控制。该模型采用先进的微波增强电感耦合等离子体技术，提供了最高质量的蚀刻和灰化工艺，从而减少了对基板的污染。有了多个等离子体源，设备可以在一个统一的过程中蚀刻和粉刷。该系统非常适合MEMS、微流体和高级封装等高级制造应用。PLASMATHERM Wafer/Batch 740使用流程监控和分析套件,用户可以在处理晶圆时精确监控流程参数。该装置具有强大的自动校准和清洁功能。综合安全和事件控制机器提供符合最严格的安全和过程标准。此外,该工具还具有集成的模具对准和SCARA机器人研发资产.该模型能够产生可重复的结果和高精度的设备。它提供快速、一致的沉积和蚀刻工艺，并支持一系列先进的熔融和金属化工艺。PLASMATHERM 晶片/Batch 740符合最苛刻的蚀刻和灰化应用的要求。凭借其极其灵活的设计和集成的模块,用户可以创建符合其确切规格和工艺要求的高效且经济高效的晶圆处理解决方桉。该设备是半导体和先进制造应用的理想解决方桉。