二手 PLASMATHERM Wafer/Batch 741 #293595646 待售
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PLASMATHERM Wafer/Batch 741是一款等离子体加工蚀刻器/asher,设计用于在半导体行业中提供多种应用。它是利用双频等离子体源、蚀刻过程的高频源和灰化阶段的低频源相结合的高精度设备。这种组合允许对蚀刻和灰烬参数进行高度的精度和控制,使其非常适合针对特定应用进行微调和优化性能。PLASMATHERM Wafer/Batch 741提供了广泛的操作参数,允许量身定制蚀刻和灰烬工艺,以满足客户特定的要求。这提高了蚀刻和灰分应用的均匀性和表面质量。这种蚀刻器/asher的一个特点是它能够容纳直径不超过200毫米的晶圆基板。此外,该模型在蚀刻室的正向表面附有独特的气体引入系统,确保了蚀刻室和灰室中工艺气体的均匀和均匀流动。PLASMATHERM Wafer/Batch 741具有用户友好和直观的界面,该界面高度自动化,包括大量的流程监控和诊断例程。这些例程允许用户在控制整个蚀刻和灰烬过程的同时监视温度、压力和其他参数。此外,系统还集成了自动故障检测和恢复子系统,旨在确保始终获得最佳结果。该蚀刻/灰分系统是半导体行业的理想解决方桉,为晶圆和批量作业提供了经济高效且可靠的工具。它简化了流程,提高了产量,并为稳健的操作而设计。再者,随着各种材料的明智使用,PLASMATHERM 晶圆/Batch 741可以对掺杂多晶硅的基材、金属、电介质进行高质量的蚀刻和灰化。它的多功能性和性能使其成为希望提高生产效率和降低成本的公司的理想解决方桉。
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