二手 POLARON PT7160 #293636654 待售

POLARON PT7160是一种最先进的反应性离子蚀刻器/灰化器，设计用于电介质和导电材料的精密蚀刻和灰化。它是一个强大、高性能的蚀刻器/asher,具有广泛的流程功能。设备包括一台300 MHz射频发电机和一个工艺控制模块，可精确调整腔室压力和蚀刻/灰化率。它具有石英腔室和自动镜面采样技术，用于精确控制蚀刻或灰化轮廓。PT7160能够处理标准和非标准的底物，如氧化硅晶片、化合物半导体（III-V、II-VI和IV-VI）、磷化合物（GaAs、AlGaAs、InGaAs和InP）、超导材料。该腔室设计用于处理各种气体，包括O2、CHF3、SF6和H2的溷合物。该系统还具有1至10 mTorr的腔室压力范围,可提供良好的选择性、较低的蚀刻速率和精确的蚀刻/灰分剖面。蚀刻和灰化率也可以在10-900°C的温度室范围内精确调整。POLARON PT7160具有极好的工艺重复性,蚀刻和灰化率保持在5% ±以内.此外,该单元还提供多用途的工艺功能,如多层蚀刻、图样绘制、表面清洁、蚀刻、沟槽处理和剖析。该机器还配备了可编程的加工气体溷合物，以提供几乎无限的加工能力。PT7160具有精确的控制、先进的功能和坚固的设计,是那些希望精确控制蚀刻/灰烬轮廓的人的理想蚀刻器/灰度。