二手 POLYFLOW S-314 #9378987 待售

POLYFLOW S-314是一种用于微加工过程的蚀刻器/粉碎器设备。它旨在为各种先进的半导体任务提供精确的蚀刻和清洁。该系统经过专门设计，以满足现代生产流程的高需求，允许高吞吐量、精确控制和最大灵活性。S-314配有一个三室单元，可以进行蚀刻、ashing和钝化处理。此设置为不同的基材尺寸和工艺步骤提供了高效可靠的工艺。这些腔室中的溷合气体分配机确保了统一的过程结果，并且该工具可针对每一个单独的过程进行定制。POLYFLOW S-314由精密机器人驱动，允许以关节精度和高吞吐量进行自动装卸操作。这种设置支持大量的基材和材料，包括有机光致抗蚀剂、硬烤抗蚀剂、聚酰亚胺和金属。可以使用特定信息对样本进行预编程,例如溅射参数、模式大小、过程时间和过程顺序。该资产设计用于硅基材料和非硅基材料的高性能蚀刻和清洗。它配备了节流控制阀，允许多种气体的输送和压力、流量、温度、功率等参数的选择。过程变量可以调整到最小的分数，以达到最大产量和性能。此外,S-314还包括一个操作员友好的用户界面,可方便地访问所有模型函数。此外,POLYFLOW S-314还配备了动态隔离设备以减少过程引起的污染,并内置了一套安全功能以提高可靠性。系统的压力、真空、温度等参数在直观的控制面板上实时监控，以确保最佳性能。由于模块化设计,该单元还设计用于低维护和部件更换（如果需要）。总体而言，S-314是一个高级蚀刻器/asher设计用于微加工过程。其智能设计使其成为高效可靠的机器，以最小的维护程度对不同材料进行高精度蚀刻和清洗。