二手 PSC DES-106-254A #9390540 待售

PSC DES-106-254A Etcher/Asher是一款高性能的自动精密设备，专门设计用于干蚀刻、灰化、反应性离子蚀刻（RIE）和多种材料的表面清洁。该系统能够在从外部环境温度到高达400°C的温度范围内运行,非常适合材料去除操作。DES-106-254A使用一系列不同的气体溷合物提供精确的低温等离子体蚀刻和灰化。PSC DES-106-254A Etcher/Asher具有50.9厘米（20英寸）的八角形加工室和负载锁。腔室由高质量的不锈钢制成，以确保最大程度的耐用性，并防止腔室部件的腐蚀。该单元具有处理4英寸晶片的能力，包括一台自动化的物料处理机，以最大限度地提高生产率。该工具的独特设计确保等离子体在空间上保持均匀，以确保在每个晶片上有可重复的蚀刻/灰化率。DES-106-254A Etcher/Asher的用途非常广泛,允许进行各种蚀刻/灰化过程。这包括高密度等离子体过程（蚀刻器/asher）到反应性离子蚀刻和深孔蚀刻操作。该资产可以容纳各种不同的蚀刻气体，并能够进行高端修剪应用。此外,该模型还包括一些其它RF和DC模块的实用程序连接,以便能够执行更多种类的蚀刻/灰化操作。该设备采用了最先进的图形用户界面，便于操作和监控，即使对于最复杂的蚀刻过程也是如此。该系统还具有若干安全功能，包括真空互锁、压力和氧气报警器、压力和温度传感器，以防止设备的不必要操作。总体而言,PSC DES-106-254A Etcher/Asher是用于蚀刻、灰化和其他材料去除操作的理想机器。它具有独特的功能、通用的应用程序功能和先进的安全系统,即使是最苛刻的流程也能提供可靠性和性能。