二手 PSC DES 211-304 #9276071 待售
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ID: 9276071
Etcher / Asher
Chamber
(50) Manual quartz boat loadings
PLS Controller
Touch panel
MKS 153 APC Controller
EDWARDS QDP80 Dry Pump
(2) Gases: O2, Ar
ENI OEM 12 RF Generator: 1.2KW
Utility:
Power supply: 208 V, 3 Phase
PSC DES 211-304是一种用于半导体光刻的蚀刻器/asher。这种设备利用物理和化学工艺相结合,在光刻生产中蚀刻或粉刷(去除或改变)半导体材料的特定区域。DES 211-304涉及生产电子器件时所使用的光刻步骤,例如电脑晶片,在製造上已经变得日益重要。PSC DES 211-304具有直接驱动双叶片、全自动蚀刻或灰室,载荷面积600mm x 600mm,可编程X-Y级。直接驱动设备为刀片运动提供精确的驱动力,确保半导体材料的精确蚀刻/灰化。该单元还包括一个Ashee晶片支架和额外的蚀刻和灰化配件。这些配件以及自动化系统的使用使半导体材料能够实现自动化、高效的蚀刻/粉刷。DES 211-304的asher腔室利用腔室温度控制器,以确保腔室内相同程度的温度和压力。这有助于确保在生产过程中对半导体材料进行精确的蚀刻/灰化。设备还配备了多通道计算机控制单元,可以精确控制蚀刻室或灰室中每个独立操作的参数。PSC DES 211-304的设计符合最高安全标准,具有互锁系统和安全警报灯/警报功能。它还包括一个排气管,带有废旧化学品的释放口,以确保在任何人员进入附近之前安全清除有害的烟雾或蒸气。总之,DES 211-304是一种用于半导体光刻的高效、精确、安全的蚀刻器/asher。其特点,包括自动化机器、腔室温度控制器、安全系统及配件,使其成为生产高品质半导体材料元件的理想之选。
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