二手 PSC DES-212-304AVL #9097138 待售

PSC DES-212-304AVL是Etcher/Asher。它是一种利用反应性离子蚀刻和化学蚀刻工艺的减法蚀刻系统。它专门设计用来蚀刻2"至8"的晶片尺寸，最多4个腔室。这种蚀刻器几乎能够在半导体基板上产生任何形状、层图样或轮廓,包括印刷电路板、LED和高频/微波设备。PSC DES-212-304-AVL蚀刻器具有多种功能，包括RF和DC偏置、化学和反应性离子蚀刻以及激光处理。每个腔室为两个腔室独立控制，并配有电源、射频匹配网络以及直流和射频开关。此外，每个腔室都配有高真空石英晶体监视器，用于精确的腔室环境控制。它还具有可变压力QCM控制器，实时绘制QCM频移图，可实现精确的实时蚀刻控制。此外，DES-212-304AVL还配备了一个可编程的微处理器控制的气体盒，最多可容纳10种气体。该蚀刻器能够支持各种蚀刻化学方法，包括氯、铵、硝酸盐、有机卤化物和更高的化学种类。先进的带有真空夹紧阀的气体柔性控制系统，为各种工艺提供了可靠、高性能的蚀刻。DES-212-304-AVL是各种应用的理想蚀刻器。它能够精确、精确地刻蚀具有均匀深度控制的小而复杂的特征。它特别能够产生复杂的图样、平面化和深层轮廓，以及在半导体基板上精确的光刻再造。它还具有很高的可重复性和可靠性，使其成为生产使用的绝佳选择。