二手 PSC DES-212-304AVL #9273101 待售

PSC DES-212-304AVL是一种用于生产先进电子材料的蚀刻/灰化设备。它是一个交钥匙系统，包括一个Alcoa型加工室、多用途PECVD气体输送装置、多个负载锁定系统、一个氧化物-FET预敏基板预清洁室和一个300毫米盒式到盒式加工机。此台式机蚀刻器采用开放式体系结构,可轻松集成现有或其他流程。该工具适用于任何涉及抗蚀蚀、化学或热灰泥的工艺，包括去粉、剥离、沉积以及合金化、溷合和溷合组合物。该蚀刻器配备了两个低温冷却的电子束源-一个专用于抗蚀剂去除,另一个用于表面制备。Alcoa型加工室为蚀刻和灰化提供了理想的环境。该腔室设计有不锈钢内腔加上石英外壁，不透气，同时允许短波红外辐射的有效传输。该腔室还在加工区设有陶瓷加热器，确保独立的温度控制和整个腔室均匀的射频供电。PECVD气体输送资产为用户提供了一种有效、准确的方法来控制蚀刻大气的组成、离子和热特性。该模型可以分批或连续模式操作，对包括O2、N2、Ar在内的各种气体和材料进行精确控制。氧化物-FET栅极预敏感基板预清洁室提供了一种在蚀刻前从基板上去除有机层和其他污染物的有效和可靠的方法。PSC DES-212-304-AVL提供了一个完整的300毫米盒式磁带到盒式磁带处理设备，用于晶圆清洗、干燥和蚀刻。处理系统采用六站输送机，确保高效装卸。该室设有气溶胶防护罩，以保护用户和晶片免受吸入。该单元进一步可定制，包括叶片处理、刀具处理、真空板夹紧等多种晶片处理选项。总体而言,DES-212-304AVL是一款功能强大、高效的台式机蚀刻器,非常适合制造干净、优质的电子元件。此单元为用户提供了蚀刻和灰化应用程序的灵活性和多功能性,同时提供了最可靠的性能。