二手 PSC DES-212 #9028317 待售

PSC DES-212是一种用于物理处理的蚀刻/粉碎机设备,可提供纳米范围内的高生产率。它由一个双蚀刻/asher单元提供动力,该单元可缩短周期时间,并具有高级控制功能,以提高流程的可重复性。它具有高功率、14kW的射频发生器,具有仔细的阻抗和脉冲控制功能.DES-212是一个通用的系统，能够处理各种材料，从聚合物到半导体晶圆。较大的加工面积允许大批量处理和高吞吐量。该单元具有双单元蚀刻和灰化功能,在同一台机器中提供蚀刻和清洁功能。蚀刻过程使用高功率射频发生器产生能量场，引起晶圆材料中的化学反应，逐层去除材料。清洗过程使用氧气等离子体从晶片表面去除有机和金属污染物。PSC DES-212是一种计算机控制工具,配备了功能强大的过程控制器,以及用于控制操作（如端点检测、材料修剪和返工、资产监控和数据分析）的软件。它支持包括温度、压力、气流、功率和等离子体生成在内的一系列工艺参数。由于设备编程中的高级控制和反馈循环，该模型能够获得高度精确和可重复的结果。该系统有一个内置的配方创建者和库，允许定制配方以及用于流行蚀刻过程的预编程工艺配方。DES-212提供了多种集成的安全功能,包括闭环控制单元、双级气体功能以及额外的非气体洗涤器。该机器设计用于安全、高效的操作,能够监控多个流程参数和日志数据,供以后查看。PSC DES-212是一种可靠、易于使用的蚀刻/asher工具,可提供高度精确的结果,并可根据各个流程需求进行定制。它是任何实验室的一项成本效益高的资产，为微量和纳米的蚀刻和清洁任务提供了一个极好的平台。