二手 PSC DES-212 #9028318 待售

PSC DES-212是为满足晶片基板上高精度微结构的需要而设计的一种蚀刻器/粉碎器设备。该系统的主要应用是在半导体加工领域。DES-212单元是一个全自动的x-y-z表级,具有机械化的精密操纵器,使用户能够精确定位晶圆和掩码以进行蚀刻/灰化过程。它也可用于激光划线等直接写入应用，允许修复和移除。机器200 mm x 200 mm x 15mm的x-y-z级行进运动范围能够容纳直径达6英寸的基板,并放置了三脚架,以便所有样品都可以与加工刀具对齐。XY和Z运动平滑,即使有静态载荷,同时保持高达2 µm的分辨率水平。蚀刻器/asher工具旨在支持各种流程；深反应离子蚀刻（DRIE），感应耦合等离子体蚀刻（ICP），湿蚀刻，薄膜沉积，溅射，氧化，沉积和抵抗带。该资产能够在包括硅、蓝宝石、石英和铝在内的最困难的基板上进行蚀刻/灰化。该模型具有基于库的过程控制设备,用于编程蚀刻/灰化过程参数,以及配方创建和系统诊断。它还允许多个晶片选择和处理，以及温度控制、压力控制、定时和联网选项，使设备能够与其他设备处理工具进行通信。PSC DES-212具有安全功能,如紧急断电开关和互锁,可保护机器免受过度加压和短路的影响,以及用于操作员安全的键盘保护。该工具的设计考虑到了用户，通过无障碍的前面板提供快速的维护和校准。该资产被广泛应用于织物和研究设施中，以进行高精度的蚀刻/灰化过程，并取得可靠的结果。作为一个先进的asher/Etcher,它符合当前的微型结构行业标准,它提供的多功能性为用户提供了一系列可能性。