二手 PSC DES-212 #9198273 待售

PSC DES-212 蚀刻器/asher是一种全自动的等离子体蚀刻器/asher设备,旨在提供精确、可靠、可重复的等离子体蚀刻和灰化操作。该系统结合了实现高吞吐量和卓越生产力所必需的集成硬件、软件和服务。通用灵活的DES-212单元融合了人性化的图形用户界面、独特的算法和强大的硬件，以满足高级蚀刻和灰化应用的要求。机器可以使用可选的高压电源,提供高达30kV的电源。该工具包括基于集成PFPE的蚀刻/灰化室、蚀刻气体分配资产、高速气体切换组件、远程等离子体源和集成气体排气模型。该腔室提供低温敏感性和特殊蚀刻均匀性的均匀气氛。腔室具有处理各种基材的大范围。该腔室设计方便维护，设有可移动腔室窗和可移动门，用于装载和卸载基板。设备的远程等离子体源提供超低背景污染和过程中的最高选择性。许多广泛的参数管理功能使用户能够优化蚀刻过程。蚀刻器/asher具有多种功能,使其成为功能强大、高效且可靠的系统。该单元包括实时、用户可编程的蚀刻速率和蚀刻时间控制，允许用户随着工艺需求的变化调整蚀刻速率和参数。控制面板易于访问,提供了对机器参数的全面控制,并易于选择配方。该工具还包括一个集成的射频功率/匹配资产,用于精确优化和出色的蚀刻/灰化操作重复性。PSC DES-212是为无与伦比的全面安全而设计的,具有UL、CE和RoHS的安全认证。该模型还具有可移动基板、自动除尘和低基板载荷等特点。此外，该设备还包括一个集成的热成像子系统，以允许自动温度控制。该单元还可以与外部源集成在一起，直接在基板上打印蚀刻图桉。DES-212是为满足当今最精确的蚀刻/研磨工艺的要求而开发的一种特殊的蚀刻/研磨机。该工具的灵活性和功能提供了卓越的精度、可重复性和高吞吐量能力,以满足苛刻的蚀刻要求。