二手 PSC DES-220-459-AVL #293829996 待售

PSC DES-220-459-AVL是干式蚀刻器/灰化器。它是一种同时适用于研发和生产应用的等离子体蚀刻设备。它有能力对各种材料进行极高质量的蚀刻，包括硅、聚酰亚胺、金属和钝化氧化物。它是工艺开发和先进元件生产的经济高效的主力军。DES-220-459-AVL为蚀刻和沉积提供了高效可靠的工艺。它配备了高功率的射频和直流等离子体源，使其能够为多种材料提供高质量的蚀刻工艺。蚀刻过程极为精确，利用2至32 MHz的可调射频频率范围和高达100瓦的射频功率。该系统还提供高离子通量和低表面损伤。该设备提供多种工艺控制设置,包括压力（0.5-1.2 Torr）和温度（室温-200 °C）。压力控制允许机器针对每一个应用进行定制，提供准确的过程结果。这允许在不同的工艺条件下进行工艺优化。此外,可用的可变功率范围选项还进一步增强了工艺一致性。PSC DES-220-459-AVL提供了出色和可重复的结果,其工艺室提供了均匀的气体分布.高通量气体分配提供了极快的处理时间而不牺牲精度。此外,该工具的高级诊断和分析工具能够快速、轻松、准确地识别和调整异常。资产的高级控制单元易于使用，允许实时的过程监控。此外,该软件包还提供了一个完整的流程库,可以快速轻松地设置新流程,而无需从头开始重做每一步。该模型也具有很高的灵活性，有多种蚀刻工艺可供选择。总体而言,DES-220-459-AVL是一个非常坚固可靠的蚀刻器/蚀刻器。其高效的工艺为各种材料提供卓越的精度。其先进的设计使其成为最苛刻的应用程序的经济高效且可靠的主力军。