二手 PSC DES-304 #293616016 待售

PSC DES-304是为表面处理和高精度蚀刻应用而设计的最先进的蚀刻/asher设备。它是一种两区高真空系统，设计用于等离子体蚀刻、化学蚀刻、湿蚀刻、催化剂蚀刻、深蚀刻、反应性离子蚀刻、灰化、干蚀刻等多种工艺。该机组设有石英工艺室和高真空泵机。这种低维护的工具提供了可靠和一致的蚀刻过程。资产包括304-1射频发电机、至多两区真空系统，范围从6个"深平台至28"深、两区真空蚀刻系统、两区ashing系统、两区抵抗去除系统。它具有带有2英寸（50.8）石英窗口的工艺室，以及可用于蚀刻速率和阳极电流控制的集成工艺控制器。DES-304还具有自动调频功能,允许更轻松、更可靠的过程。304-1射频发电机可为工艺室提供高达400W的功率。它有两种型号：低功耗0-20W和高功率（0-400W）。它还配备了一个单独的60kV直流电源，用于在蚀刻过程中使基板偏置。该模型还在腔室的每一侧包括一个45°CW的远程查看端口,允许在保持过程完整性的同时直接查看样品。该设备允许直接控制蚀刻速率，与氟气、氯气、氮气、氧气、氢气等各种工艺气体兼容。它还具有特殊工艺，如深度蚀刻和反应性离子蚀刻，并具有可选的手动可调注射角，以更好地控制工艺。该系统还具有循环冷却回路,可在更长的蚀刻过程中保持组件冷却。PSC DES-304是为高精度蚀刻和表面处理应用而设计的先进蚀刻和灰化装置。它具有两区机和低维护，可靠的过程操作。该工具提供各种工艺功能，如蚀刻、深蚀刻、反应性离子蚀刻和灰化，以及直接工艺控制蚀刻速率和阳极电流。DES-304具有丰富的功能,是一种适合各种蚀刻和灰化要求的多功能资产。