二手 PSI HEXODE MPT-HEX-1 #77366 待售
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ID: 77366
晶圆大小: 3"
Etcher, set up for 24- 3" wafers, 22" x 30" H, ss jar programmers, Vacuum general mass flow controllers, 3 kW RF plasma supply, without vacuum system.
PSI HEXODE MPT-HEX-1是一种工业蚀刻和灰化工艺,用于去除各种基材中不需要的有机材料。它是一种多用途、大容量的asher/etcher,能够同时处理多达6种不同的底物。600W的射频功率和广泛的气体溷合物和压力,MPT-HEX-1使得可靠的,可重复蚀刻和灰化的结果。它采用受控的热剖面设计,以确保整个真空室的加热和冷却速率均匀。其最先进的数字处理器提供对工艺参数的精确工程控制。PSI HEXODE MPT-HEX-1具有先进的数字直流和射频电源,具有监控、调节和调节功能,能够精确控制蚀刻和灰化过程。其专利的多室设计和大型真空室确保了均匀的基板温度,并允许同时装载多达6种形状和大小的基板。这样可以显着缩短处理时间,从而提高效率和提高吞吐量。该系统还包括各种耐用的工程级耗材和配件,以实现最佳的工艺性能。其精密的气体溷合物控制使操作成本最小化,而内部气旋过滤器则有助于最小化颗粒物污染。此外,它还允许在应力和温度梯度方面具有很高的公差,使其适合敏感材料加工。该系统还提供了与各种介质的各种兼容性,允许用户处理各种基材。MPT-HEX-1是高容量、精密蚀刻或灰化操作的绝佳选择。PSI HEXODE MPT-HEX-1具有先进的数字处理器、坚固的结构和广泛的基板兼容性,是一款可靠、高效、经济高效的工业蚀刻器和粉碎机。
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