二手 PSK DAS 2000 #9243716 待售

PSK DAS 2000
ID: 9243716
晶圆大小: 8"
优质的: 2005
PR Stripper, 8" (2) Chambers 2005 vintage.
PSK DAS 2000是为半导体、硅片和其他微电子元件的样品制备而设计的全自动蚀刻器/asher。它能够在2000 °C的最高加工温度下以精确的精度处理多达八种不同的配方。PSK DAS-2000有八个单独的处理室,每个室都有自己独立的温度和压力控制,以及数字和模拟信号。它能够同时监控、控制和调整多达24个不同的工艺参数。DAS 2000配备了数字用户界面,使用户可以快速回忆自己的食谱,审查以前编程的流程。用户界面还显示真空泵上的实际腔室压力,以及目标压力设定点,允许用户轻松微调配方。DAS-2000还具有一个自我诊断系统,该系统不断监测所有系统参数,以确保始终如一地取得最佳结果。PSK DAS 2000还配备了独特的反向排气功能,允许用户将废旧化学品从腔室和再生鼓风机中排出。这一特点在安全极为重要的设施中特别有用,因为它有助于减少化学品连续装卸过程中可能积聚的危险烟雾。PSK DAS-2000蚀刻器是一种可靠、精确的仪器,适用于需要严格控制电化学过程参数(如氧气和氯气浓度)、蚀刻速率和温度均匀性)的应用。DAS 2000能够产生高产量,具有卓越的一致性和性能,是研究和生产应用的绝佳选择。
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