二手 PSK DAS 2000 #9243882 待售

PSK DAS 2000是一款由PSK Corporation开发的高端蚀刻器/asher。它是一种独立的设备，旨在为2英寸至6英寸晶圆的基板提供可靠的蚀刻/灰化。该系统具有高速基板传输单元和完全集成的晶片盒式磁带，使其一次最多可处理四个晶片。PSK DAS-2000配有高精度电动机,可安全地将晶片通过各种工艺区域移动。其中包括自动基板装载机、注射区、湿蚀刻区、干蚀刻/灰化区和晶圆卸载机。湿蚀刻区采用水溶液和ULPA过滤热空气，以最大的重复性和均匀性快速蚀刻所有基板。干蚀刻/灰化区结合了ULPA过滤与惰性氮或氙气的使用，实现了多种底物的精确蚀刻和灰化。该机还具有集成的负载锁和高达400°C的无与伦比的温度控制。它与所有行业标准化学品兼容，允许用户蚀刻和粉刷各种基材。此功能可节省时间和金钱,因为它无需购买成本高昂的各种基板特殊解决方桉。DAS 2000设计具有快速的周期时间和经过验证的端点检测工具,可帮助优化流程效率。此外,它具有可靠的运行,并确保全天候不间断的可用性和吞吐量。这一切都是通过坚固可靠的硬件组件和易于使用的触摸屏用户界面来确保的,该界面提供实时控制和无错误操作。总体而言,DAS-2000是一个功能强大、可靠且坚固的蚀刻器/蚀刻器,可提供最大的可重复性和均匀性。它的效率、智能特性和广泛的兼容性使得它成为任何蚀刻或灰化应用的理想选择。